MX系列机型采用4"/6平台设计,可适用于相应尺寸的晶圆或FPD检测,也可用于小尺寸样品的阵列检测。
MX-4R/MX4RT:4英寸平台,移动范围:105mmX105mmMX-6R/MX6RT:6英寸平台,反射照明移动范围:158mmX158mm,透射照明移动范围100mmX100mm; 带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动。
通过使用平台适配接口,所有平台可在MX系列机型之间通用。
全新设计的超长工作距物镜,采用半复消色差技术,并使用多层宽带镀膜技术,使整个视场内的成像清晰锐利,色彩自然,明亮舒适。
超长的工作距离设计,50X的有效工作距离达到7.8mm,100X物镜也达到了2.1mm,大幅拓展了MX机型的应用领域,5X10X、20X物镜的设计,通过精选材料及优化设计,使DIC微分干涉观察的性能非常出色。
同步设计了全套明暗场两用物镜,适用于MX-6R机型,暗场照明亮度比传统暗场物镜提高2倍以上。
MX机型的转换器采用精密轴承设计,转动手感轻巧舒适,重复定位精度高,物镜转换后的同心度也得到较好的控制,根据MX系列机型配置及功能的不同,可以选择不同型号的转换器
PI103C5I型:5孔明场转换器,带DIC棱镜插槽,用于MX-4R/MX4RT机型
PI103C5BDI型:5孔明暗场转换器,带DIC棱镜插槽,用于MX-6R/MX6RT机型